手持式光譜儀，即手持式X熒光光譜分析儀，使用的X熒光技術，能做無損檢測，制備平整、光潔的檢測面，有利于測試，但不利于手持式光譜儀的原位、現場快速檢測等優勢。然而，但是試樣的狀態也直接影響著手持式光譜儀最后的檢測結果。
　　金屬材料表面是否被氧化或腐蝕，與材料質量、熱處理狀態、表面狀態、環境、時間有關。高鉻鎳不銹鋼表面形成的致密氧化膜阻止了氧化反應向縱深發展，即使表面沒有拋光，也沒有明顯影響測試。碳鋼、鑄鐵和部分合金鋼表面被氧化，即使其表面沒有銹跡，也會干擾檢測；輕有色金屬活潑易氧化，重有色金屬化學穩定性好。
　　手持式光譜儀可以直接進行測試技術不斷發展自然環境氧化的中、低合金鋼材料表面質量以及已產生浮銹的表面，Mn含量顯著升高，而Cr、V含量達到降低，測試系統清除浮銹后的密實銹層，Cr、Mo、v含量變化往往會出現明顯異常升高；正火+回火等強制氧化中、低合金鋼，會生成一個氧化皮，氧化皮外表面無Cr、V，而氧化皮內表面Cr、Mo、V、Nb含量成倍升高，剝去氧化皮的試樣外表面，Cr、Mo、v含量也明顯水平升高。試驗研究表明，氧化或銹蝕是影響分析檢測數據結果的主要經濟因素，而滲氮等表面信息處理機制未明顯影響測試。
　　根據材料的氧化或腐蝕程度及隨后的精度要求，可選用角拋光機、銼刀、砂布、(金相)砂紙、刮刀等對機體進行處理，作為檢測表面;也可進行化學處理。加工后的金屬材料表面到人體，一般會立即檢測，手工和機械加工表面，1天檢測為宜，一些合金鋼放置較長時間，如KI2F54B合金鋼檢測30天后，未見明顯效果。
　　利用手持式光譜儀進行檢測以及金屬
　　板、塊、條、方管、中型圓柱和錐形(截面)材料可以方便地覆蓋測量窗(和接觸窗)的檢測表面，獲得最佳的檢測結果，當直徑大于11mm時，軸向檢測優于切線檢測，兩個方向的檢測結果基本相同(直徑在12~63mm之間，接觸窗的切線方向沒有感應)，與實際樣品進行校正有助于提高檢測精度。

　　輕元素的特征X射線能量低，熒光產額低，容易被空氣吸收。它的檢測需要高的HXRFS和樣品表面。雖然輕元素檢測結果的準確度和精密度還有待提高，但檢測結果基本令人滿意。